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プロジェクトの基本情報

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2019年3月18日更新

HIPIMS電源にて成膜できる装置

株式会社広島

プロジェクト名 車載センサー向け高性能コーティング膜製造用スパッタ装置の開発
対象となる川下分野 自動車
川下企業におけるニーズの対応 高機能化(精度・性能の向上など)
効率化(生産性・作業性の向上など)
低コスト化(ランニングコスト低減、ロス削減、 省力化など)
上記ニーズに対する具体的な数値 TiO2成膜にて1000W 6.35nm/min Duty比4.5%
事業実施年度 平成27年度~平成29年度
事業化状況 補完研究中(完成に向けて現在研究中)
対象としている素材 TiO2 SiO2 DLC

プロジェクトの詳細

プロジェクトに至った背景・経緯
我が国の自動車産業が世界市場で勝ち残るためには、安全性の向上として衝突防止機能や自動運転化が求められる。そこで用いられる車内外に設置されるカメラなどのセンシング部品には表面コーティングが施されている。
現状のコーティング技術では品質とコストを両立できず、実用化が困難なので、本事業では高品質、高耐久でありながら量産性に優れたコーティング膜を提供するため、最新技術を取り入れたスパッタ装置を開発する。
さらにスパッタ成膜では水素フリーが実現できる利点を生かしたDLC成膜への応用を目指した。
研究開発のポイント
表面コーティングの分野では最も多用されているのが真空蒸着法であるが、弱点は密着性である。密着性を上げるためには、300℃程度の加熱が必要であり、センサーやプラスチック基板には、応用が難しいプロセスである。そこでHIPIMS電源によるスパッタ法を用いて蒸着の弱点を克服しながら、HIPIMSによりスパッタの弱点である成膜速度を補う。
また、水素を含むガスを用いることなくスパッタ成膜が可能な点を活かし、水素フリーのDLC膜を得ることができる。
研究開発の具体的な成果
HiPIMS法はプラズマ密度の制御により一般的なスパッタより高性能な膜が成膜可能であり、周波数やduty比のパラメータにより、高密度プラズマを形成することが可能となった。
利用イメージ、今後の活用が見込める分野・製品等
TiO2、SiO2などの酸化膜やDLC膜は車載されるビデオセンサーやナイトビジョンの反射防止膜となり、その製造装置として需要が見込まれる。その他にも医療分野、航空分野にも活用がある。

事業化への取り組み

知財・広報活動 知財は一件出願しておりますので下記に番号を記載します。
識別番号:503364869
特許出願番号:特願2016-128232
今後の見通し サポイン期間中にTiO2やSiO2の成膜を行っている。最終年度にDLCを成膜できる機構を追加したため、追加の成膜を現在行っている。DLC成膜をデータを採取した後にそのデータを元に営業活動を行う。
当初の目標を踏まえた
上での達成度や
新たな課題
TiO2やSiO2にてサポイン期間中に成膜の目標を達成している。最終年度に追加したDLC成膜機構での成膜を新たな目標としており、現在成膜を行っている。
川下産業からの引き合い状況
(件数等、内容)
2件
DLC成膜におけるHIPIMS成膜方法は研究段階でありユーザーは他の方法との比較に対して興味が大きい。HIPIMSの特徴が他の成膜方法の弱点である点に期待が大きいため参画企業のみにて今年度は進める予定である。

研究開発の体制

事業管理機関 公益財団法人 科学技術交流財団
法認定事業者 株式会社 広島
研究実施機関 ㈱広島
㈱ニデック
ペガサスソフトウェア㈱
名古屋市工業研究所
アドバイザー トヨタ自動車㈱
㈱豊田自動織機
名古屋大学

PRコメント

遷移領域制御に成膜
HIPIMS電源を使用したプラズマ高密度化

事業の参考となるサイト

研究開発成果等報告書(概要版): https://www.chusho.meti.go.jp/keiei/sapoin/portal/seika/2015/2741907018g.pdf
研究開発成果等報告書: https://www.chusho.meti.go.jp/keiei/sapoin/portal/seika/2015/2741907018h.pdf
戦略的基盤技術高度化支援事業車載センサー向け高性能コーティング膜製造用スパッタ装置の開発: http://hiroshima-web.com/result/2017/04/01/520/
(株)広島 反射防止膜作成装置 紹介動画: https://www.youtube.com/watch?v=kYtwq4bQq8E

企業情報

社名 株式会社広島
所在地 〒459-8001 愛知県名古屋市緑区大高町字寅新田41番
電話番号 052-629-0020
社員数 37名 (男性  31名、女性  6名)
資本金 1,000万円
業種 その他の業種(組込みソフトウェア、発酵など)
事業内容 評価装置
生産設備製造
URL http://hiroshima-web.com/
生産拠点エリア 国内 所在地:愛知県名古屋市緑区大高町字寅新田41番
海外生産対応
主要な取引先 トヨタ自動車株
アイシン精機㈱
㈱デンソー
本プロジェクトに
関する問い合わせ先
部署名
装置エンジニアリング事業部
  • 職場風景、企業ロゴ、
社屋など
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社屋など

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