表面処理
バルク（単独組織の部素材）では持ち得ない高度な機能性を基材に付加するための機能性界面・被覆膜形成技術
2025年度採択
| 企業名： | 超臨界技術センター株式会社（三重県） |
|---|---|
| 基盤技術分野： | 表面処理 |
| 概要： | 本研究では、超臨界流体と液中プラズマを統合した新規プロセスによって、単層カーボンナノチューブ内部の細孔空間に白金系ナノ粒子を均一かつ高効率に合成可能な専用製造装置を開発する。特に、低純度水素向け燃料電池触媒の耐久性に貢献し得る技術として、試作機の実証と将来的な装置販売・材料供給事業の両立を目指す。 |
（PDF形式:258KB）
2024年度採択
Nebulaプラズマを用いた低環境負荷な半導体用基板洗浄装置の研究開発
| 企業名： | 株式会社クレセン（神奈川県） |
|---|---|
| 基盤技術分野： | 表面処理 |
| 概要： | パルスパワーを活用した純水からの超高効率水素発生に関する名古屋大学の研究をもとにした洗浄分野への検討を共同で行うことで、ラジカルと洗浄有効種を生成活用する高効率な低環境負荷な洗浄基本方法を見出した。これらをもとに、多種プラズマ生成化学種を活用することで、従来半導体洗浄で主流な洗浄法で使用される硫酸、アンモニア、過酸化水素水に置き替わる低環境負荷な半導体基板洗浄方法および装置を開発する。 |
（PDF形式:145KB）
アルミニウム素材の陽極酸化・置換めっき複合表面処理技術の開発
| 企業名： | 豊橋鍍金工業株式会社（愛知県） |
|---|---|
| 基盤技術分野： | 表面処理 |
| 概要： | アルミニウムは輸送機器の軽量化や電子製品の高熱効率に寄与する素材として、また銅などに比べ安価で資源枯渇リスクも小さくリサイクル性も良いことから今後も高需要が予想される。本研究では、アルミニウム部材に陽極酸化処理で絶縁性・放熱性などの機能向上をした後、レーザーなどで部分的に陽極酸化皮膜を除去、素材露出部に置換めっき法で金など皮膜形成し導電性や接合性を付与した複合機能部材を得ることを目的とする。 |
（PDF形式:197KB）
本ページに関するお問合せ先
- 中部経済産業局 地域経済部 イノベーション推進課
- 〒460-8510
愛知県名古屋市中区三の丸二丁目五番二号
電話番号：052‐951‐2774
メール：bzl-chb-sangi■meti.go.jp
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最終更新日：2025年11月21日